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上海某工業(yè)用戶 TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)順利安裝交付

更新時(shí)間:2024-07-26      點(diǎn)擊次數(shù):168

上海某工業(yè)用戶 TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)順利安裝交付

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上海某前沿科創(chuàng)企業(yè) TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái) 交付驗(yàn)收


核心指標(biāo):

真空吸附卡盤:6英寸

樣品臺(tái)位移精度:<10μm

探針座位移精度:<3μm

漏電流精度:<10pA

兼容多種光學(xué)顯微鏡,可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試

是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測(cè)試的理想選擇


TLRB系列探針臺(tái)簡(jiǎn)單介紹:

.模塊化設(shè)計(jì),可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試;

. 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試;

.探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm,樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié);

. 兼容多種光學(xué)顯微鏡,可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試;

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi));

. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,線性移動(dòng),無回程差設(shè)計(jì);

. 加寬探針放置架,可放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座

. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能,且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。





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