高低溫真空探針臺系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結果誤差，是材料學、芯片、半導體器件等方向實驗分析的理想選擇。